MOCVD系统

作品数：27被引量：21H指数：2
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相关机构：西安电子科技大学南京大学中晟光电设备(上海)股份有限公司中国科学院更多>>
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高电导率p型AlGaN材料被引量：1
《固体电子学研究与进展》2019年第5期F0003-F0003,共1页罗伟科 李忠辉 孔岑 杨乾坤 杨峰 
南京电子器件研究所提出并研发了一种"金属源气流调制生长"的外延方法,在采用MOCVD系统外延生长Mg掺杂的p型AlGaN材料时,引入"晶体质量提升"和"激活效率提升"两种不同的生长,两种工艺在外延过程中交替进行,既能保证晶体质量,又能提升受...
关键词：晶体质量 受主杂质 外延生长 MOCVD系统 ALGAN Mg掺杂 高电导率 效率提升 
MOCVD系统检漏技术被引量：2
《设备管理与维修》2019年第17期110-111,共2页宋健 张清旭 
介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率,辅助分析产品的缺陷,最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。
关键词：MOCVD系统 漏率检测 氦质谱检漏仪法 
MOCVD系统反应室流场的模拟优化设计
《工业加热》2018年第5期46-48,共3页张媛 
陕西铁路工程职业技术学院2017年第二批科研基金项目(KY2017-045)
金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料、建筑材料、LED等光电子器件装饰材料主要设备。本文采用计算流体力学软件Fluent对MOCVD反应器内温度场及速度场进行模拟分析。对MOCVD反应器内的传热传质机理进行分析...
关键词：MOCVD 流场 数值模拟 优化设计 
维易科(VEECO)和ALLOS展示行业领先的200MM硅基氮化镓性能推动micro-LED的应用
《半导体信息》2018年第1期8-8,共1页
Veeco公司和ALLOSSemiconductors（ALLOS）达成了一项战略举措，展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝／绿光microLED的生产。维易科和AL—LOS合作将其专有外延技术转移到Propel单晶圆MOCVD系统，从而在现有的硅生产线上实现生产micro-LED。
关键词：氮化镓 硅基 MOCVD系统 应用 性能 行业 生产线 技术转移 
AIXTRON凭硅基氮化镓系统AIX G5+C获颁商业杂志荣誉奖项
《电子与封装》2016年第5期6-6,共1页李星悦 张礼怿 赵博 
全球半导体行业沉积设备供应商AIXTRON凭借其全自动新产品——金属氧化物化学汽相沉积（MOCVD）系统AIX G5＋C,获商业杂志Compound Semiconductor颁授2016年CS High-Volume Manufacturing Award奖项。该奖项是业界对国际化合物半导体行...
关键词：MOCVD系统 AIX 氮化镓 SEMICONDUCTOR 硅基 杂志 商业 化学汽相沉积 
基于免疫反馈机理的温度自动控制分析
《科技传播》2014年第18期174-174,168,共2页顾永南 
自从创立了仿生学后,人们从各种生物学机理中学到了很多新型的研究方法来解决工程问题,免疫反馈机理就是其中之一,并将之应用到了各大领域,包括建筑建设、电气自动化控制、智能控制器设计等等。本文针对免疫反馈机理在MOVCD系统中温度...
关键词：免疫反馈机理 MOCVD系统 温度控制 
基于变论域模糊PID算法的MOCVD温升控制
《工业控制计算机》2013年第10期54-55,共2页周峰 许力 
将变论域思想加入到常规模糊控制中,实现了对MOCVD系统温升过程的有效控制。该控制器包含两个模糊控制过程,一个实现对输入输出论域的自调整,一个实现对温升的控制,通过实验仿真表明,所采用的控制方案能提高温升过程控制的整体性能。
关键词：MOCVD系统 变论域 模糊控制 
旭化成株式会社订购爱思强系统用于研发新一代设备
《现代显示》2012年第11期60-60,共1页
德国爱思强股份有限公司日前宣布，旭化成株式会社（Asahi Kasei Corporation）向其订购爱思强6X2英寸规格的近耦合喷淋头（CCS）MOCVD系统，用于研发新一代磷砷化镓基光电设备和锑基感应设备。该订单于2012年第一季度接获，将于2012年...
关键词：旭化成株式会社 MOCVD系统 光电设备 研发 订购 喷淋头 砷化镓 
基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计被引量：6
《真空科学与技术学报》2012年第6期457-462,共6页秦琦 周凯 莫晓亮 田振夫 陈国荣 
上海市科学技术发展基金资助项目(09DZ1142102);上海市教育委员会科研创新项目(11ZZ02);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目;国家自然科学基金资助项目(10972058)
金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统。本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度...
关键词：GAN 金属有机化合物化学气相沉积系统 数值模拟 有限体积法 
AIXTRON下一代MOCVD进驻三安芜湖厂
《现代显示》2010年第9期58-58,共1页
AlxTRON宣布与三安光电签署了一笔订单，为对方供应十套以上的CRIUSll及AlXG5MOCVD系统。AIXTRON的下一代MOCVD设备将于今年第四季度至明年第一季度期间完成交货，设备将安置在三安位于安徽省芜湖的生产厂房中。三安CEO表示，自公司成...
关键词：MOCVD系统 芜湖 MOCVD设备 生产厂房 安徽省 CEO 
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