MOCVD设备

作品数：68被引量：27H指数：3
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基于倍福PLC的MOCVD设备控制系统设计研究
《电子工业专用设备》2025年第1期13-20,共8页熊峥 李明 周立平 叶肖杰 
为实现MOCVD设备的稳定运行与控制,通过分析MOCVD设备的子系统组成、PLC硬件网络及控制系统,结合系统的安全性设计,研究了一套基于倍福PLC的MOCVD设备控制系统。通过实际运行,该套电气控制系统电气强弱分离,整体结构层次感强,易于维护,...
关键词：MOCVD设备 安全性设计 PLC控制系统 
阶梯轴部件自动涡流检测系统设计及试验
《物理测试》2023年第5期41-45,共5页牛琛辉 黄鑫 任树贵 安向鹏 
针对MOCVD设备用阶梯轴类部件表面缺陷的自动涡流检测难题,开发了阶梯轴部件专用自动涡流检测系统,研制了涡流探头的自适应辅助装置,开展了阶梯轴部件对比试样和表面缺陷的自动涡流检测试验研究。试验结果表明,使用研制的涡流探头自适...
关键词：MOCVD设备 阶梯轴 自动涡流检测 
机构荐股
《股市动态分析》2023年第10期56-57,共2页
中微公司688012公司1Q23营收同比增长28.86%,归母净利润同比增长134.98%。公司刻蚀设备市场占有率不断提高,1Q23刻蚀设备实现收入8.14亿元,同比+13.94%,1Q23 MOCVD设备实现收入1.67亿元,同比+300.48%。公司年报目标未来在国内先进logic...
关键词：公司年报 厂房面积 市场占有率 MOCVD设备 净利润 机构荐股 ICP CCP 
氧化锆氧气检测系统在MOCVD设备上的应用研究
《通化师范学院学报》2022年第10期46-50,共5页徐丽平 
福建省中青年教师教育科研项目(JAT191456)。
金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备在生产过程中有严格的气密要求,为了实时检测MOCVD设备的气密性,该研究优化了氧化锆(ZrO_(2))传感器,并根据MOCVD C4机台的结构设计了氧气检测系统.实践证明:该系统能够长时间不间断地监测机台各腔室...
关键词：金属有机物化学气相沉积 氧化锆 氧气检测系统 氧浓度 
SiC涂层石墨基座技术及产业发展研究
《新材料产业》2022年第3期58-60,共3页王玉 
1碳化硅(SiC)涂层石墨基座基本情况1.1基本概念SiC涂层石墨基座常用于金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中支撑和加热单晶衬底的部件(图1)。MOCVD设备是化合物半导体单晶衬底外延生长的研发及产业化关键设备,SiC涂层石墨基座的热稳定...
关键词：金属有机物化学气相沉积 化合物半导体 产业发展研究 SIC涂层 外延生长 MOCVD设备 外延材料 基座 
MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析被引量：1
《电子工业专用设备》2021年第5期16-21,共6页刘成群 程壹涛 刘宇宁 
介绍了MOCVD设备射频感应加热系统的工作原理及技术特点。结合射频感应加热系统的组成,详细叙述各主要模块的典型故障及维修技术,重点分析射频功率源电路故障及维修。针对射频系统阻抗失配现象,提出了阻抗匹配调整的实用方法。根据多年...
关键词：金属有机物化学气相淀积 射频感应加热 阻抗匹配 振荡器 
Co-Re MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真被引量：2
《机械设计与制造》2021年第1期77-79,83,共4页朱黎明 龚伟 敬瑀 崔开放 
四川省科技计划应用基础研究重点项目(2017JY0084)。
以化学气相沉积Co-Re合金涂层为对象,建立反应室内部数学模型采用计算流体力学CFD方法对化学气相沉积制备Co-Re合金涂层反应室进行三维数值模拟分析,前处理采用ICEM软件划分网格,在fluent15.0中计算了反应室中基底附近流场分布,数值模...
关键词：化学气相沉积 Co-Re合金涂层 流场 数值模拟 
中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3^TM
《电子工业专用设备》2020年第5期80-80,共1页
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”),日前宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo...
关键词：MOCVD设备 半导体设备 绿光LED TM 量产 T3 制造商 
MOCVD设备与现代MOCVD技术研究被引量：3
《山东工业技术》2018年第22期127-127,119,共2页许坚强 
MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、半导体激光器、LED等。现有的MOCVD设备主要依赖进口,成本较高,因此MOCVD设备的研究对国防高端技术、新能...
关键词：MOCVD设备 MOCVD技术 反应腔 
三安光电获1．24亿元补贴
《中国集成电路》2017年第11期3-4,共2页
日前，三安光电发布公告，根据公司与厦门火炬高技术产业开发区管理委员会（火炬管委会）签署的《投资协议》，火炬管理委员会对本公司购置MOCVD设备补助。根据协议，厦门三安光电有限公司已收到火炬管委会拨付的30台MOCVD（4英寸机型...
关键词：光电 MOCVD设备 管理委员会 补贴 高技术产业 开发区 协议 炬管 
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