MOCVD设备与现代MOCVD技术研究  

作　　者：许坚强 

机构地区：[1]厦门市三安光电科技有限公司,福建厦门361000

出　　处：《山东工业技术》2018年第22期127-127,119,共2页Journal of Shandong Industrial Technology

摘　　要：MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、半导体激光器、LED等。现有的MOCVD设备主要依赖进口,成本较高,因此MOCVD设备的研究对国防高端技术、新能源领域都很有必要。文章简单分析了MOCVD设备以及MOCVD技术。

关 键 词：MOCVD设备 MOCVD技术 反应腔 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]