MOCVD技术

作品数：38被引量：56H指数：4
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MOCVD技术制备In_(2)O_(3)紫外光电探测器研究
《微纳电子技术》2024年第12期47-54,共8页李奕霏 晏长岭 
吉林省科技厅项目(20220101122JC)。
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法分别在蓝宝石、氧化钇稳定氧化锆(YSZ)和蓝宝石上p-GaN衬底上生长In_(2)O_(3)薄膜,生长温度为600℃。利用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)、原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)、霍尔系统对3种薄膜...
关键词：氧化铟(In_(2)O_(3)) 氧化钇稳定氧化锆(YSZ) p型氮化镓 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 光电探测器 
MOCVD技术在MgO基底沉积YBCO薄膜缓冲层LaMnO_(3)研究
《低温与超导》2024年第2期22-31,共10页陈建华 王其琛 夏钰东 赵睿鹏 欧凯 王维 陶伯万 
国家自然科学基金(51872040)资助。
在MgO基底使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法直接制备YBa_(2)Cu_(3)O_(7-δ)会出现MgO和YBCO晶格失配较大的问题,从而影响薄膜的生长和超导器件的制备。缓冲层的引入是一种可靠的解决手段。本文基于MOCVD技术,在MgO基底上生长LaMnO_(3...
关键词：MOCVD YBCO LaMnO_(3) 缓冲层 
MOCVD设备与现代MOCVD技术研究被引量：3
《山东工业技术》2018年第22期127-127,119,共2页许坚强 
MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、半导体激光器、LED等。现有的MOCVD设备主要依赖进口,成本较高,因此MOCVD设备的研究对国防高端技术、新能...
关键词：MOCVD设备 MOCVD技术 反应腔 
基于领域本体的专利技术-功效文本挖掘方法——以MOCVD技术为例被引量：4
《价值工程》2018年第2期245-248,共4页陆佳伟 慎金花 张更平 杨锋 
专利技术-功效图是专利地图的一种。通过制作专利技术-功效图,可以有效识别相关技术空白点和突破点,有助于加强专利战略部署。本文以MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)技术为例,首先通过技术骨架的搭建确定技术-功效词,构建了一个技术...
关键词：领域本体 专利摘要分析 技术-功效图 
超薄GaInP/GaInAs/Ge太阳电池研究被引量：3
《电源技术》2014年第6期1069-1070,1142,共3页高伟 张宝 薛超 高鹏 王保民 
通过特殊的MOCVD技术和器件工艺,应用超薄衬底和对正常衬底的减薄两种方法,成功地制作出了80 mm厚的超薄GaInP/GaInAs/Ge结构的太阳电池。对太阳电池进行了相关的测试,并对实验结果进行了分析和讨论。
关键词：MOCVD技术 器件工艺 GAINP GAINAS Ge太阳电池 
潜心科研结硕果 呕心沥血育英才——记华南师大光电子材料与技术研究所所长范广涵教授
《海峡科技与产业》2012年第11期70-70,共1页舒雅 
范教授是国内最先从事氮化镓蓝色LED发光材料研究和MOCVD技术研究的光电子专家。早在1972年，他就开始以氯化物法在蓝宝石衬底上!仁长GaN基蓝光材料和器件，积累了光电子材料与器件学科的丰富经验。
关键词：MOCVD技术 光电子材料 华南师大 研究所 科研 所长 蓝色LED 蓝宝石衬底 
用MOCVD技术在Ti-29Nb-13Ta-4．6Zr合金上制备羟磷灰石薄膜
《钛工业进展》2011年第6期46-47,共2页刘春芳 
由于钛及其合金具有非常好的机械性能、抗腐蚀性能和生物相容性能，所以已经广泛应用于诸如整形手术、牙齿移植等生物医学领域。特别是由无毒、无过敏性元素组成的β型Ti-29Nb-13Ta-4．6Zr（TNTZ）合金，由于具有非常好的机械性能，
关键词：ZR合金 CVD技术 羟磷灰石 薄膜 制备 MO 机械性能 抗腐蚀性能 
东莞市中镓半导体科技有限公司
《广东科技》2011年第13期46-46,共1页
东莞市中镓半导体科技有限公司总部设于广东东莞,以北京大学宽禁带半导体研究中心为技术依托,并于2009年成功引进该研究中心为我公司的创新科研团队。我公司成为国内首家专业生产氮化镓（GaN）衬底材料以及开发相关技术的企业。公司拥...
关键词：宽禁带半导体 东莞市 氮化镓 MOCVD技术 科技 国家发明专利 衬底材料 批量生产 
行情指数
《中国科技财富》2010年第21期8-10,共3页
爱思强已开发出8吋MOCVD机台 2010年10月14日，第七届中国国际半导体照明展览会暨论坛配套活动——MOCVD技术国际短期培训班在深圳会展中心6F桂花厅胜利召开。此次MOCVD技术国际短期培训班由国家半导体照明工程研发及产业联盟（CSA）...
关键词：MOCVD技术 半导体照明 行情 会展中心 产业联盟 照明工程 培训班 国际 
MOCVD技术的世界领跑者——访德国爱思强公司研发副总裁Michael Heuken教授
《中国照明》2009年第11期40-40,共1页
2009年10月15日11时，在深圳举办的第六届中国国际半导体照明展览会暨论坛上，德国爱思强公司（AIXTRON）研发副总裁Michael Heuken教授向采访的记者介绍TAIXTRON的公司情况以及MOVCD技术现状与发展趋势。
关键词：MICHAEL MOCVD技术 总裁 研发 德国 世界 半导体照明 发展趋势 
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