中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3^TM  

出　　处：《电子工业专用设备》2020年第5期80-80,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”),日前宣布推出Prismo HiT3^TM MOCVD设备,主要用于深紫外LED量产。中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商,此次推出的Prismo HiT3^TM是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。

关 键 词：MOCVD设备 半导体设备 绿光LED TM 量产 T3 制造商 

分 类 号：TN312.8[电子电信—物理电子学]