氧化锆氧气检测系统在MOCVD设备上的应用研究  

作　　者：徐丽平[1] 

机构地区：[1]黎明职业大学航空学院,福建泉州362000

出　　处：《通化师范学院学报》2022年第10期46-50,共5页Journal of Tonghua Normal University

基　　金：福建省中青年教师教育科研项目(JAT191456)。

摘　　要：金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备在生产过程中有严格的气密要求,为了实时检测MOCVD设备的气密性,该研究优化了氧化锆(ZrO_(2))传感器,并根据MOCVD C4机台的结构设计了氧气检测系统.实践证明:该系统能够长时间不间断地监测机台各腔室氧浓度,且能准确区分正常氧偏离和非正常泄漏,具有真空响应速度快、灵敏度高、稳定性好的特点,可有效弥补现有检测方法难以实时检测的不足.

关 键 词：金属有机物化学气相沉积 氧化锆 氧气检测系统 氧浓度 

分 类 号：TP29[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]