云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 周凯

周凯: 作品数：1被引量：6H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：复旦大学力学与工程科学系更多>>; 发文主题：MOCVD系统GAN数值模拟有限体积法更多>>; 发文领域：一般工业技术更多>>; 发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>; 所获基金：上海市教育委员会创新基金上海市科学技术发展基金教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>

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基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计被引量：6: 《真空科学与技术学报》2012年第6期457-462,共6页秦琦周凯莫晓亮田振夫陈国荣; 上海市科学技术发展基金资助项目(09DZ1142102);上海市教育委员会科研创新项目(11ZZ02);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目;国家自然科学基金资助项目(10972058); 金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统。本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度...; 关键词：GAN 金属有机化合物化学气相沉积系统数值模拟有限体积法