区熔吸除硅片的制备和应用  被引量:1

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作  者:陈燕生[1] 刘桂荣[1] 

机构地区:[1]北京科技大学

出  处:《稀有金属》1994年第5期378-382,共5页Chinese Journal of Rare Metals

摘  要:氢气氛下拉制的区熔硅单晶,经中子辐照和分步热处理可制备出区熔吸除硅片。铜缀饰表明,氢沉淀具有很强的吸铜作用。在硅靶摄像管的应用中,证实了区熔吸除硅片制成的管芯性能良好。

关 键 词:区熔吸除硅片 制备 应用 

分 类 号:TN304.12[电子电信—物理电子学]

 

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