用于海洋水色扫描仪的硅光电探测器组件  

作　　者：江美玲[1] 丁爱娣[1] 张学敏[1] 冯晓梅[1] 马斌[1] 梁平治[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所，上海200083

出　　处：《半导体光电》2005年第B03期67-69,共3页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：采用微型滤光片与硅探测器直接耦合的方式，研制了5×4元和3×4元两种多波段硅探测器组件。组件可探测412-865nm八个波段，带宽分别为20和40nm。由于采用了短波增强，提高近红外波段响应率和响应速度，降低暗电流，减小串音及提高可靠性等一系列措施，使研制的组件达到了很高的性能：412nm的响应率为0．14A／W，暗电流为5×10^-10A，结电容小于20pF，串音小于7％。满足了海洋水色扫描仪的使用要求。

关 键 词：硅光电探测器组件 微型滤光片 响应率 串音 

分 类 号：TN364.2[电子电信—物理电子学]