三维微机电系统中微反射镜的转动分析  

作　　者：徐亮[1] 孔华华[1] 李敏[1] 戴乐[1] 

机构地区：[1]南京邮电学院 光信息技术系,南京210003

出　　处：《光子技术》2005年第1期29-32,共4页Photon Technology

摘　　要：我们首先介绍了三维微机电系统(MEMS)作为光交叉连接设备(OXC)的总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理。然后根据应用在三维MEMS的电压和微反射镜偏转角度的控制关系,讨论了基于三维微机电系统(MEMS)的多端口光交换设备的一些特性。

关 键 词：微反射镜 微机电系统(MEMS) OXC 光交叉连接设备 光交换设备 三维 端口 总体结构 角度 物理原理 

分 类 号：TN92[电子电信—通信与信息系统] TN915.63[电子电信—信息与通信工程]