薄膜金属腐蚀及相关工艺研究  

作　　者：张云生 李丙旺 

机构地区：[1]中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2005年第1期41-44,共4页

摘　　要：本文以实验为基础,给出了各种金属的腐蚀液及其配比,得到了各种金属腐蚀参数,同时揭示了腐蚀过程中存在的问题及相关工艺对金属腐蚀的影响,并进行了分析。

关 键 词：腐蚀液 金属腐蚀参数 薄膜集成电路 制作工艺 

分 类 号：TN405.2[电子电信—微电子学与固体电子学] TN44