微机械技术正面临新突破(二)  

作　　者：鲍敏杭[1] 

机构地区：[1]复旦大学电子工程系

出　　处：《仪表技术与传感器》1994年第1期3-5,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用 表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化微镜器件,它由768×576个表面微机械加工的反射镜陈列构成,已用于电视的显示系统,它显示的屏幕尺寸大12英尺。更大规模的2048×1152象素的器件正在研制中。

关 键 词：微机械 微机械技术 

分 类 号：TH－39[机械工程]