可改善光谱范围的红外探测器列阵  

作　　者：高 

出　　处：《红外》2005年第4期45-45,共1页Infrared

摘　　要：本发明提供一种可扩大光谱范围的红外探测器．该探测器有两个衬底，第一个衬底由磷化铟制成，它上面有一层砷镓铟膜层．第二个衬底由硅制成，它有一个读出集成电路，该读出集成电路与上述第一层膜层在电学上是耦联的．在砷镓铟材料形成之后，用机械技术或化学腐蚀工艺将第一个衬底大大减薄，便可以使该红外探测器的光谱范围超过常规红外探测器的光谱范围．

关 键 词：光谱范围 红外探测器列阵 读出集成电路 化学腐蚀工艺 机械技术 砷镓铟 衬底 磷化铟 制成 膜层 减薄 硅 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]