《半导体制造中气体的使用》已经出版  

出　　处：《低温与特气》1987年第2期F004-F004,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书，主要内容包括。1．气体的主要性质；2．三十种半导体制造用气体的特性，3．气体贮存，使用，运输、泄漏处理、废气处理的注意事项，4．火灾、中毒的紧急处理；以及健康与安全管理；5．容器，

关 键 词：半导体制造 气体 出版 泄漏处理 废气处理 紧急处理 安全管理 中心站 化工部 健康 

分 类 号：X701[环境科学与工程—环境工程] TN305[电子电信—物理电子学]