金属浓缩取样器的研制  

作　　者：李治昌 李虹[1] 杨雪珍[2] 尹恩华[2] 

机构地区：[1]北京建中机器厂 [2]中国科学院半导体所

出　　处：《低温与特气》1984年第1期17-20,共4页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：浓缩气相色谱法是一种测定痕量气体成分的方法，可用于测定高纯电子气中的痕量杂质。例如，测定高纯H2，He中杂质灵敏度最低可到<0．01ppm一。该方法过去采用的浓缩装置都是玻璃系统。玻璃取样器的缺点是易碎，过渡联接管多，易造成漏气。最近，我们经过研究，避免玻璃四通取样器的缺点，研制成金属浓缩取样器。本装置可用于H2中痕量O2的分析。

关 键 词：取样器 金属 研制 气相色谱法 气体成分 痕量杂质 玻璃系统 浓缩装置 测定 电子气 灵敏度 高纯 H2 

分 类 号：TQ223.162[化学工程—有机化工] X831.01[环境科学与工程—环境工程]