尹恩华

作品数：11被引量：8H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：气体硅烷灵敏度金属特种气体更多>>
发文领域：化学工程电子电信轻工技术与工程环境科学与工程更多>>
发文期刊：《低温与特气》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
气体中的颗粒与金属杂质探讨被引量：1
《低温与特气》1992年第2期8-11,共4页尹恩华 
气体中的杂质有气态杂质和悬浮颗粒,而颗粒是由很复杂的金属、非金属,无机化合物、有机化合物组成的,并有一定浓度的常见元素。鉴于气体中的颗粒不能绝对完全被分离,国内目前只能分离出大于0.2μm以上的颗粒,因此,有关对气体中金属、非...
关键词：电子气 金属 杂质 气体 
提高露点法测定高纯气体中痕量水灵敏度的初探被引量：2
《低温与特气》1992年第1期41-42,共2页尹恩华 
从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。
关键词：气体 测定 露点法 水分 电子气 
露点法测定电子级气体中痕量水被引量：1
《低温与特气》1990年第1期47-52,共6页尹恩华 
在高技术或超大规模集成电路的开发中,对电子级气体中痕量水含量的要求不断提高。从表1说明了这种趋势。
关键词：电子级气体 痕量水 露点法 测定 
无污染进样法分析电子气中的痕量氧
《低温与特气》1989年第4期56-58,共3页彭永清 李建平 尹恩华 
电子工业中使用的高纯气体要求含氧量在0.2～0.05ppm。这不仅要求分析方法灵敏度高,而且还要解决外界氧的污染问题。为了避免在分析进样时环境中的氧对样品气的污染,我们在ZAV—2型微氧仪(日本产)上设计安装了无污染进样装置。同时,
关键词：痕量氧 电子气 无污染进样法 
GI型特气净化剂研制
《低温与特气》1989年第2期34-34,43,共2页尹恩华 陆大成 彭永清 
为了对特种气体进行净化,我们于1984年开展了GI型净化剂的研制。经过几年的努力,已研制成一种能用于永久性气体和特种气体的以镓为主要原料的净化剂,其脱氧深度对于8ppm的氢气可脱到0.03ppm,其脱水可由375ppm(露点-30℃)脱到0.54ppm(露...
关键词：气体 特种气体 净化 净化剂 镓 
氩离子检定器色谱仪的改装及其应用
《低温与特气》1988年第3期44-51,共8页尹恩华 
一、前言 由于国内氦资源缺乏，因此，氦离子检定器(HID)的应用受到一定限制，而氩离子检定器(AID)不能直接测定电离电压高于11．6eV的组分，如氧、氮、氢、甲烷、一氧化碳、二氧化碳等。借助“猝灭”效应，可使上述各组分显示信号，我...
关键词：检定器 氩离子 应用 改装 色谱仪 上海化工研究院 氦离子化 直接测定 一氧化碳 二氧化碳 显示信号 灵敏度 氦资源 氯代苯 永久性 检测限 组分 猝灭 试剂 气体 
气敏色谱法分析硅烷和磷烷
《低温与特气》1988年第1期43-44,共2页彭永清 李建平 尹恩华 
研究用气敏(氢敏)色谱仪分析硅烷和磷烷的方法,获得了成功的结果。分析硅烷和磷烷的最小检测量分别为0.06ppm和0.13ppm。用注射进样结合稀释法测得硅烷和磷烷的相对标准偏差分别为±2.96％和±3.78％。
关键词：磷烷 硅烷 气敏 色谱法 相对标准 色谱仪 检测量 稀释法 
三氯化磷中碳化物的色谱分析
《低温与特气》1985年第3期44-46,共3页于凤来 尹恩华 陆大成 汪度 
一、问题的提出 InP用于外延工艺中，发现在温度高于500℃区域内，有黑色膜或黑斑点淀积在石英反应管壁上，甚至在衬底支架上。这种现象可能是高温下三氯化磷中碳化物的热分解所造成的。由此提出分析外延试剂的杂质成分问题。试图从中...
关键词：碳化物 色谱分析 热分解 外延 三氯化磷 
硅烷的分析被引量：4
《低温与特气》1985年第1期67-74,共8页尹恩华 杨雪珍 于凤来 郎文卉 
在大规模集成电路和非晶硅研制中，常常要对硅烷的纯度及其组分进行分析。有关硅烷分析的文章国内、外公开报道的不多。现有文献以苏联的居多，其次是日本和美国。1975年B．T．Peзчиков等报道了用光谱法测定硅烷中的总碳。
关键词：硅烷 大规模集成电路 B.T. 非晶硅 光谱法 PE 
金属浓缩取样器的研制
《低温与特气》1984年第1期17-20,共4页李治昌 李虹 杨雪珍 尹恩华 
浓缩气相色谱法是一种测定痕量气体成分的方法，可用于测定高纯电子气中的痕量杂质。例如，测定高纯H2，He中杂质灵敏度最低可到<0．01ppm一。该方法过去采用的浓缩装置都是玻璃系统。玻璃取样器的缺点是易碎，过渡联接管多，易造成漏...
关键词：取样器 金属 研制 气相色谱法 气体成分 痕量杂质 玻璃系统 浓缩装置 测定 电子气 灵敏度 高纯 H2 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部