气敏色谱法分析硅烷和磷烷  

作　　者：彭永清[1] 李建平[1] 尹恩华[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所

出　　处：《低温与特气》1988年第1期43-44,共2页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：研究用气敏(氢敏)色谱仪分析硅烷和磷烷的方法,获得了成功的结果。分析硅烷和磷烷的最小检测量分别为0.06ppm和0.13ppm。用注射进样结合稀释法测得硅烷和磷烷的相对标准偏差分别为±2.96％和±3.78％。

关 键 词：磷烷 硅烷 气敏 色谱法 相对标准 色谱仪 检测量 稀释法 

分 类 号：TQ325.12[化学工程—合成树脂塑料工业] TS202.3[轻工技术与工程—食品科学]