气体中的颗粒与金属杂质探讨  

作　　者：尹恩华[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《低温与特气》1992年第2期8-11,共4页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：气体中的杂质有气态杂质和悬浮颗粒,而颗粒是由很复杂的金属、非金属,无机化合物、有机化合物组成的,并有一定浓度的常见元素。鉴于气体中的颗粒不能绝对完全被分离,国内目前只能分离出大于0.2μm以上的颗粒,因此,有关对气体中金属、非金属的分析研究值得商榷。

关 键 词：电子气 金属 杂质 气体 

分 类 号：TQ116[化学工程—无机化工]