三氯化磷中碳化物的色谱分析  

作　　者：于凤来[1] 尹恩华[1] 陆大成[1] 汪度[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所

出　　处：《低温与特气》1985年第3期44-46,共3页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：一、问题的提出 InP用于外延工艺中，发现在温度高于500℃区域内，有黑色膜或黑斑点淀积在石英反应管壁上，甚至在衬底支架上。这种现象可能是高温下三氯化磷中碳化物的热分解所造成的。由此提出分析外延试剂的杂质成分问题。试图从中找出沾污的原因及解决污染的办法。

关 键 词：碳化物 色谱分析 热分解 外延 三氯化磷 

分 类 号：TQ126.36[化学工程—无机化工]