提高露点法测定高纯气体中痕量水灵敏度的初探  

作　　者：尹恩华[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《低温与特气》1992年第1期41-42,共2页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。

关 键 词：气体 测定 露点法 水分 电子气 

分 类 号：TQ117[化学工程—无机化工]