露点法测定电子级气体中痕量水  

作　　者：尹恩华[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所

出　　处：《低温与特气》1990年第1期47-52,共6页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：在高技术或超大规模集成电路的开发中,对电子级气体中痕量水含量的要求不断提高。从表1说明了这种趋势。

关 键 词：电子级气体 痕量水 露点法 测定 

分 类 号：TN107[电子电信—物理电子学]