硅烷的分析  

作　　者：尹恩华[1] 杨雪珍[1] 于凤来[1] 郎文卉[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所

出　　处：《低温与特气》1985年第1期67-74,共8页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：在大规模集成电路和非晶硅研制中，常常要对硅烷的纯度及其组分进行分析。有关硅烷分析的文章国内、外公开报道的不多。现有文献以苏联的居多，其次是日本和美国。1975年B．T．Peзчиков等报道了用光谱法测定硅烷中的总碳。

关 键 词：硅烷 大规模集成电路 B.T. 非晶硅 光谱法 PE 

分 类 号：TQ325.12[化学工程—合成树脂塑料工业] TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]