《半导体制造中气体的使用》即将出版  

机构地区：[1]化工部光明情报中心站

出　　处：《低温与特气》1987年第1期F004-F004,共1页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：由化工部光明情报中心站组织翻译的《半导体制造中气体的使用》一书，主要内容包括：1．气体的主要性质；2．三十种半导体制造用气体的特性，3．气体贮存、使用、运输、泄漏处理、度气处理的注意事项，4．火灾、中毒的紧急处理，以及健康与安全管理，5．容器、

关 键 词：半导体制造 气体 出版 泄漏处理 紧急处理 安全管理 中心站 化工部 气处理 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TQ116[化学工程—无机化工]