SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门  

出　　处：《集成电路应用》2005年第4期59-59,共1页Application of IC

摘　　要：全球领导性的半导体设备元件供应厂商Swagelok曰前宣布．推出Swagelokm DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀，可精确的控制流体，落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件AEMI Standard F57—0301标准的承诺。DRP系列产品最新的架构应用相当广泛，包括：具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。

关 键 词：Swagelok公司 DRP^TM系列 铁弗龙隔膜阀产品线 人为调整 

分 类 号：F407.6[经济管理—产业经济]