使用在线基本参数法对多层合金薄膜样品的成分和膜厚同时定量分析已成为现实  

Analyze composition and film thickness of multilayer alloy film sample by using online method of basic parameter

出　　处：《冶金标准化与质量》2005年第2期23-24,共2页Metallurgical Standardization & Quality

摘　　要：在X荧光光谱分析中,为分析多层合金薄膜的成分和膜厚,需要标准样品和建立工作曲线等有许多繁琐的问题。使用在线基本参数法对多层合金薄膜样品的成分和膜厚的同时分析已成为现实。介绍使用配备于岛津顺序扫描X射线荧光光谱仪的薄膜FP法。Succeed in analyzing composition and film thickness synchronously by using online method of basic parameter.

关 键 词：荧光光谱分析 多层合金薄膜样品 成分 膜厚 

分 类 号：TG115[金属学及工艺—物理冶金]