二维方框形结构PSD有限元分析  

FEM Analysis for the Two Dimensional Square Bordered PSD

作　　者：黄梅珍[1] 黄锦荣 窦晓鸣[1] 陈钰清[3] 

机构地区：[1]上海交通大学物理系光学工程研究所,上海200240 [2]福建海鹏经贸有限公司,福州350002 [3]浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,杭州310027

出　　处：《仪器仪表学报》2005年第4期382-385,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响。得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值ν决定了PSD的线性度,ν越大,器件的线性越好,比较适当的取值范围是1 0 <ν<2 0 ,PSD位置换算式中系数k的最佳取值不一定为器件长度之半,负载电阻的存在将导致附加位置误差。The two dimensional square bordered PSD is calculated and analyzed by the FEM, and the influence of the PSD construction, electrical parameters and the load on the device linearity are discussed. The conclusions are as following: it is the ratio (ν) of the surface resistance per unit square to the border resistor per unit length that decided the device linearity, the higher the ratio, the better the linearity, but the appropriate value is 10<ν<20. The optimal factor κ in the position formula is not exactly the half of the device length, and the load will cause additional position error. ©, 2005, Science Press. All right reserved.

关 键 词：PSD 有限元分析 方框 二维 位置敏感探测器 有限元方法 结构参数 单位长度 方块电阻 取值范围 位置误差 负载电阻 线性度 线电阻 光敏区 换算式 器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TQ336.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程]