在泡沫碳化硅衬底上生长的硅镜  

作　　者：杨英惠 

出　　处：《现代材料动态》2005年第5期14-14,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：美国Schafer公司开发出一个化学气相沉积工艺，利用该工艺可在泡沫碳化硅衬底上生长硅镜。这项课题是由美国导弹防御局资助的。其核心以连续的、强化的硅外壳包裹，从而提高了结构强度和热学性能，与此同时成本得以降低还减轻了重量。老工艺为了减轻重量，采用将支撑结构材料除去的办法。

关 键 词：碳化硅衬底 硅镜 生长 泡沫 美国导弹防御局 沉积工艺 化学气相 热学性能 结构强度 结构材料 轻重量 包裹 

分 类 号：TQ153.2[化学工程—电化学工业] TN304.24[电子电信—物理电子学]