硅镜

作品数：17被引量：42H指数：4
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：张耀宁余芳张云电饶鹏华卫红更多>>
相关机构：杭州电子科技大学中国科学院中国科学院上海光学精密机械研究所国防科学技术大学更多>>
相关期刊：《红外与激光工程》《中国激光》《机电工程》《激光与光电子学进展》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划浙江省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
大尺寸硅基体633nm和3.5～4.1μm双波段高反射膜研制被引量：2
《红外与激光工程》2012年第7期1854-1857,共4页岳威 韩永昶 东野斯阳 武淑明 赵明艳 
固体激光技术国家重点实验室基金(914100C04)
硅由于透光区域较宽,便于光学系统使用而经常应用于中波红外光学系统中。但是,以其作为基底,镀制0°～22.5°入射、633 nm与3.5～4.1μm双波段的反射膜却具有相当大的难度,尤其是φ300 mm等大尺寸硅镜引起的牢固度问题。以红外光学和薄...
关键词：红外光学 大尺寸硅镜 高反射膜 牢固度 
硅镜轻量化结构优化与实现
《机电工程》2009年第6期28-30,67,共4页张云电 管成成 余芳 
浙江省自然科学重点基金资助项目(Z105528)
为了保证在高的面形精度的前提下尽可能地降低硅镜的质量,通过对多种轻量化结构的分析与对比,确定了具体轻量化结构形式并对其进行了优化设计。通过计算机仿真分析证明了该优化设计方案的可行性,并采用超声加工方法实现了硅镜轻量化加...
关键词：硅镜 轻量化结构 优化设计 超声加工 
硅镜超声加工机进给压力的检测与控制系统被引量：2
《机电工程》2009年第1期74-76,共3页张云电 韩俊慧 陈炎 余芳 
浙江省自然科学重点基金资助项目(Z105528)
超声加工是硅镜加工的有效加工方法,但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎。研究表明,工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因。为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性,采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测,并...
关键词：硅镜 压力检测与控制系统 超声加工 
非均匀激光辐照下硅镜热变形对光束传输特性的影响被引量：13
《强激光与粒子束》2008年第10期1615-1619,共5页刘文广 饶鹏 华卫红 
国家高技术发展计划项目
使用有限元法计算了硅镜在DF化学激光器非稳腔输出的中空非均匀激光辐照下镜面温升和反射面面形随时间变化的特性,使用65阶Zernike多项式对镜面面形进行了曲面拟合,使用光线追迹的方法计算了平行光束经不同数量硅镜反射后的光束波前分...
关键词：激光辐照 高能激光 硅镜 热变形 光束质量 
硅镜超声加工声学系统设计被引量：4
《机电工程》2008年第6期24-26,共3页张云电 余芳 
浙江省自然科学重点基金资助项目(Z105528)
近年来,超声加工方法已经越来越多地应用于脆硬材料的加工,超声声学系统是功率超声设备的核心和关键所在,其设计的好坏直接影响到其应用的效果。在分析超声声学系统工作原理的基础上,给出了该声学系统的具体设计方案,并且专门针对硅镜...
关键词：硅镜 脆硬材料 超声加工 声学系统 
基于Hopfield网络的硅镜异形盲孔超声加工路径规划被引量：1
《机电工程》2008年第2期15-17,共3页张云电 胡皇印 林金钳 余芳 
浙江省自然科学重点基金资助项目(Z105528)
单晶硅材料以其优异的物理性能成为了新型轻质反射镜材料,而且设计人员要求在硅晶体端面形成大量异形盲孔。但是,采用传统加工方法很难保证其完整性、加工效率和质量。针对设计、生产的实际情况,研究了超声加工机理,提出了基于Hopfield...
关键词：超声加工 HOPFIELD网络 路径规划 
在泡沫碳化硅衬底上生长的硅镜
《现代材料动态》2005年第5期14-14,共1页杨英惠 
美国Schafer公司开发出一个化学气相沉积工艺，利用该工艺可在泡沫碳化硅衬底上生长硅镜。这项课题是由美国导弹防御局资助的。其核心以连续的、强化的硅外壳包裹，从而提高了结构强度和热学性能，与此同时成本得以降低还减轻了重量。...
关键词：碳化硅衬底 硅镜 生长 泡沫 美国导弹防御局 沉积工艺 化学气相 热学性能 结构强度 结构材料 轻重量 包裹 
基于ICP工艺的垂直微小硅镜的加工(英文)
《纳米技术与精密工程》2005年第1期22-28,共7页单学传 前田龙太郎 池原毅 
利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等离子区内边界层的变形,其蚀刻宽度会随着蚀刻深度的增加而增加...
关键词：蚀刻 微镜 反应离子刻蚀 等离子区 激励源 ICP 偏压 感应耦合 边界层 正锥 
高反射硅镜弱吸收的研究被引量：9
《中国激光》2001年第10期937-940,共4页王英剑 胡海洋 李庆国 范正修 
国家"8 6 3 410"计划资助项目
运用表面热透镜技术精确测量 1315nm高反射硅镜的弱吸收 ,并结合原子力显微镜所显示的薄膜表面情况判断引起吸收的原因 。
关键词：表面热透镜 原子力显微镜 弱吸收 高反射硅镜 
1315nm高反射率硅镜的膜系分析
《激光与光电子学进展》2001年第9期56-56,共1页彭玉峰 程祖海 张耀宁 周次明 杨春华 
国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，教育部重点科研项目
随着高功率激光器,尤其是化学氧碘激光器(COIL)的不断发展,对激光光学元件的性能要求越来越高.为了满足实际需要,用于COIL的高反射硅镜的反射率应达到99.95%以上,以减少镜面热畸变,提高其抗激光损伤能力.早在十多年前,美国的有关专家就...
关键词：激光器 反射率 硅镜 膜系 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部