前田龙太郎

作品数：3被引量：4H指数：1
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发文主题：硅材料涡轮发动机微型压缩机微型燃烧器微型发电机更多>>
发文领域：机械工程动力工程及工程热物理更多>>
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基于硅材料的微型气体涡轮机中微型燃烧器的设计和加工(英文)被引量：4
《纳米技术与精密工程》2005年第3期209-215,共7页单学传 金玉丰 王振峰 前田龙太郎 
由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统,阐述了一种微型燃烧器的设计和加工,设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃烧腔的热损失和有效地对燃料和空气进行预热,该微型燃烧器由7...
关键词：微型燃烧器 气体涡轮发动机 燃料喷射 干刻蚀 微型压缩机 气体涡轮机 微燃烧器 加工 设计 硅材料 涡轮发动机 微机电系统 微型发电机 
基于ICP工艺的垂直微小硅镜的加工(英文)
《纳米技术与精密工程》2005年第1期22-28,共7页单学传 前田龙太郎 池原毅 
利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等离子区内边界层的变形,其蚀刻宽度会随着蚀刻深度的增加而增加...
关键词：蚀刻 微镜 反应离子刻蚀 等离子区 激励源 ICP 偏压 感应耦合 边界层 正锥 
自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用(英文)
《纳米技术与精密工程》2004年第1期32-37,共6页单学传 前田龙太郎 小林健 张国雄 
介绍了一种新颖的扫描原子力显微 (SFM )方法 ,它可用于微机械垂直面的无损测量 ,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的 .除操作灵活外 ,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移 .因此 ,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微...
关键词：自敏感悬臂 扫描原子力显微镜 无损测量 微镜 微模 微机械 
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