小林健

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发文主题：垂直面SFM悬臂微机械英文更多>>
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自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用(英文)
《纳米技术与精密工程》2004年第1期32-37,共6页单学传 前田龙太郎 小林健 张国雄 
介绍了一种新颖的扫描原子力显微 (SFM )方法 ,它可用于微机械垂直面的无损测量 ,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的 .除操作灵活外 ,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移 .因此 ,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微...
关键词：自敏感悬臂 扫描原子力显微镜 无损测量 微镜 微模 微机械 
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