A Solenoid-Type Inductor Fabricated by MEMS Technique  

采用MEMS技术制作的螺线管电感(英文)

作　　者：高孝裕[1] 周勇[1] 王西宁[1] 雷冲[1] 陈吉安[1] 赵小林[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第6期1083-1086,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA302042);国家自然科学基金(批准号:50275096);上海市纳米专项(批准号:0215nm104,0352nm014)资助项目

摘　　要：A solenoid-type inductor for high frequency application is realized using a micro-electro-mechanical systems (MEMS) technique.In order to achieve a high inductance value and Q-factor,UV-LIGA,dry etching technique,fine polishing and electroplating technique are adopted.The dimensions of the inductor are 1500μm×900μm×70μm,having 41 turns with a coil width of 20μm separated by 20μm spaces and a high aspect ratio of 3.5∶1.The maximum measured inductance of the inductor is 6.17nH with a Q-factor of about 6.采用微机电系统技术制作了螺线管电感.为了获得高电感量和Q值,采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术,研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为3.5∶1.测试结果表明电感量最大值为6.17nH,Q值约为6.

关 键 词：inductance value microelectromechanical systems quality factor 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]