高精度电容式动态薄膜测厚仪的研制  

Development of the high-precision dynamic capacitance measuring instrument of thin-film thickness

作　　者：李亚标[1] 王宝光[1] 郑义忠[1] 刘力双[1] 卢慧卿[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《现代仪器》2005年第3期45-47,共3页Modern Instruments

摘　　要：本文介绍一种高精度高分辨率的仪器———电容式动态薄膜测厚仪。详述仪器的工作原理。A high-resolution and high-precision instrument,dyamic capacitance measuring instrument of thin film thickness,is introduced in this paper The operating principle of the instrument,the application software for the instrument and the method of data processing is introduced at the same time

关 键 词：薄膜测厚仪 电容式 高精度 动态 研制 数据处理方法 高分辨率 工作原理 应用软件 仪器 

分 类 号：TH821.1[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]