薄膜测厚仪

作品数：8被引量：18H指数：3
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紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
《激光技术》2016年第4期472-475,共4页刘佳敏 陶泽 张传维 刘世元 
湖北省科技支撑计划资助项目(2014BEC052);湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB278);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ160002)
为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果...
关键词：测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度 
塑料薄膜拉伸强度不确定度简析被引量：5
《河北企业》2015年第7期112-112,共1页张伟 王磊 谈雄 李清 王晓玄 
塑料薄膜的拉伸强度是力学性能中最重要、最基本的性能之一,可以作为不同材料的质量比较和生产上品质验收依据,还可以作为使用性能指标和工程设计数据。一、实验部分1.主要仪器。电子拉力试验机：高铁检测仪器有限公司GT-TCS-2000。薄...
关键词：拉伸强度 不确定度 电子拉力试验机 薄膜测厚仪 检测仪器 测试方法 试验方法 力学性能 拉伸性能 性能指标 
高精度电容式动态薄膜测厚仪的研制被引量：1
《现代仪器》2005年第3期45-47,共3页李亚标 王宝光 郑义忠 刘力双 卢慧卿 
本文介绍一种高精度高分辨率的仪器———电容式动态薄膜测厚仪。详述仪器的工作原理。
关键词：薄膜测厚仪 电容式 高精度 动态 研制 数据处理方法 高分辨率 工作原理 应用软件 仪器 
O-Frame扫描式在线薄膜测厚仪
《现代塑料》2005年第6期41-41,共1页
美国巴顿菲尔·格罗斯特工程有限公司(位于马萨诸塞洲格罗斯特市)最新研制成功了一种O-Frame在线薄膜厚度检测仪。利用这种厚度检测仪可以快速精确地检测出吹塑薄膜的厚度，并且可以直接与上一级的计算机控制系统进行数据交换。此外，...
关键词：O-Frame扫描式在线薄膜测厚仪 吹塑薄膜 计算机控制系统 数据交换 组成成份 温度 
精密电容式动态在线薄膜测厚仪的研制被引量：3
《仪表技术与传感器》1999年第1期13-16,共4页李东光 李红民 郑义忠 
介绍一种以８０３１单片机为核心，采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法，使用驱动电缆技术，克服了电容传感器输出的非线性，并提高了仪器整机的抗干扰能力。测量结果在单片机系统的...
关键词：电容传感器 动态测量 薄膜测厚仪 厚度测量 
智能化薄膜测厚仪的一种设计被引量：1
《仪表技术》1998年第1期28-30,共3页俞阿龙 
介绍一种以MCS—51单片机为核心,利用β射线测厚传感器、集成函数运算放大器、V/F转换器等构成的智能化薄膜厚度测试仪的设计.其具有电路结构简单、价格低、性能稳定、测量精度高等特点.
关键词：传感器 测厚仪 单片机 Β射线 薄膜测厚 
在线薄膜测厚仪被引量：4
《电子技术（上海）》1995年第1期18-20,共3页姚景顺 毕文平 钟生新 
对于厚度为１０—１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足薄...
关键词：测厚仪 单片机 传感器 Β射线 薄膜测厚仪 
一种新型电容式薄膜测厚仪被引量：4
《自动化与仪表》1994年第1期25-27,共3页李晶 
1 引言 随着现代工业生产的高度发展,对塑料薄膜做小厚度的测量提出了新的要求。为此,我们开发了一种采用微机控制、实现动态非接触测量的新型智能式精密电容薄膜测厚仪。该测厚仪采用进口集成电路,其测量线路应用反馈运算方法和驱动电...
关键词：塑料 薄膜 电容式 测厚仪 厚度 
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