张传维

作品数：9被引量：19H指数：3
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发文主题：椭偏仪测量方法波片复合波片光强更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》《激光技术》《光谱学与光谱分析》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征
《激光技术》2019年第4期585-590,共6页郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元 
国家重点研发计划资助项目(2017YFF0204705)
为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上Ti...
关键词：测量与计量 聚对苯二甲酸乙二醇酯 复合衬底 介质膜 光谱椭偏 膜厚 
基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第5期557-563,583,共8页陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元 
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证...
关键词：偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱 
紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
《激光技术》2016年第4期472-475,共4页刘佳敏 陶泽 张传维 刘世元 
湖北省科技支撑计划资助项目(2014BEC052);湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB278);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ160002)
为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果...
关键词：测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度 
基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第1期116-122,共7页董正琼 刘世元 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 
国家自然科学基金(51475191和51405172);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160002);中国博士后科学基金(2014M560607和2015T80791);教育部长江学者创新团队(IRT13017)~~
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于...
关键词：光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度 
基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：5
《物理学报》2014年第18期148-159,共12页陈修国 刘世元 张传维 吴懿平 马智超 孙堂友 徐智谋 
国家自然科学基金(批准号:91023032;51005091);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002);教育部长江学者和创新团队发展计划资助的课题~~
在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵...
关键词：纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度 
基于Sigmoid函数的离轴照明光源全参数解析模型被引量：3
《物理学报》2011年第5期383-391,共9页刘巍 刘世元 吴小飞 张传维 
国家自然科学基金(批准号:91023032;51005091;50775090);中国博士后科学基金(批准号:20100470052);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2010ZD004)资助的课题~~
本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型,该模型采用Sigmoid函数作为构造各种主流离轴光源解析模型的核函数.提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏差,全参数修正项可展开为傅里...
关键词：光学光刻 光源模型 SIGMOID函数 离轴照明 
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究被引量：2
《光谱学与光谱分析》2009年第4期935-939,共5页刘世元 张传维 沈宏伟 顾华勇 
国家"863"计划项目(2006AA04Z325);国家自然科学基金项目(50775090);新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0639)资助
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高...
关键词：傅里叶变换红外光谱仪 红外反射谱 动态随机存储器 深沟槽结构 
基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究被引量：2
《物理学报》2008年第9期5996-6001,共6页刘世元 顾华勇 张传维 沈宏伟 
国家高技术研究发展计划(863)(批准号:2006AA04Z325);国家自然科学基金(批准号:50775090);国家重点基础研究发展计划(批准号:2003CB716207);新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-06-0639)资助的课题~~
利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反...
关键词：深沟槽结构 严格耦合波理论 等效介质理论 反射率 
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