江浩

作品数：6被引量：26H指数：3
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：光学常数椭偏测量椭偏仪光学测量入射更多>>
发文领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《红外与毫米波学报》《计算机工程与应用》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重大科学仪器设备开发专项教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
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基于改进Yolov5s的光刻热点检测算法
《激光与光电子学进展》2023年第24期243-251,共9页吴清岳 刘佳敏 张松 江浩 刘世元 
国家自然科学基金(52130504,51975232,52205592);湖北省重点研发计划(2022BAA013)。
光刻热点检测是实现集成电路可制造性设计,保障集成电路芯片最终良率的关键。鉴于传统基于深度学习的光刻热点检测方法难以满足先进集成电路制造对检测精度的要求,提出了一种基于改进Yolov5s的检测算法,用于光刻版图热点缺陷的精确检测...
关键词：光刻热点检测 改进Yolov5s 检测精度 坐标注意力机制 Sigmoid线性单元激活函数 Scylla交并比损失函数 
基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第5期557-563,583,共8页陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元 
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证...
关键词：偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱 
基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第1期116-122,共7页董正琼 刘世元 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 
国家自然科学基金(51475191和51405172);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160002);中国博士后科学基金(2014M560607和2015T80791);教育部长江学者创新团队(IRT13017)~~
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于...
关键词：光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度 
面向相似性搜索的时间序列表示方法述评被引量：14
《计算机工程与应用》2004年第27期53-59,共7页刘世元 江浩 
国家自然科学基金项目(编号:50205009)资助
时间序列作为一种数据形式,广泛存在于各种商业、医学、工程、自然科学和社会科学等数据库中。近年来,时间序列的相似性搜索问题正得到越来越多的重视。该问题可描述为给定某个的时间序列,要求从一个大型时间序列数据库中找出与之最相...
关键词：时间序列 相似性数据挖掘 维规约 
关于时间序列相似性概念体系的探讨与研究被引量：5
《华中科技大学学报（自然科学版）》2004年第7期75-76,79,共3页刘世元 江浩 
国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 0 5 0 0 9) ;教育部留学回国人员启动基金资助项目
通过分析高维空间的欧氏几何距离关系并对相似性定义进行拓展 ,提出了一种新的时间序列相似性概念体系 ,即以相似性函数和变换约束函数共同描述两个序列的相似关系 .在这种概念体系中 ,相似性只能是某种相似性函数和变换函数约束下的相...
关键词：时间序列 相似性 相似性函数 变换函数 
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