云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 张松

张松: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：华中科技大学更多>>; 发文主题：椭偏仪模型预测控制时间分辨率磁极充电更多>>; 发文领域：机械工程医药卫生理学自动化与计算机技术更多>>; 发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>

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基于改进Yolov5s的光刻热点检测算法: 《激光与光电子学进展》2023年第24期243-251,共9页吴清岳刘佳敏张松江浩刘世元; 国家自然科学基金(52130504,51975232,52205592);湖北省重点研发计划(2022BAA013)。; 光刻热点检测是实现集成电路可制造性设计,保障集成电路芯片最终良率的关键。鉴于传统基于深度学习的光刻热点检测方法难以满足先进集成电路制造对检测精度的要求,提出了一种基于改进Yolov5s的检测算法,用于光刻版图热点缺陷的精确检测...; 关键词：光刻热点检测改进Yolov5s 检测精度坐标注意力机制 Sigmoid线性单元激活函数 Scylla交并比损失函数