陈修国

作品数：11被引量：28H指数：3
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：椭偏仪光学常数测量方法波片起偏器更多>>
发文领域：机械工程理学自动化与计算机技术文化科学更多>>
发文期刊：《公路》《情报杂志》《红外与毫米波学报》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项长江学者和创新团队发展计划中国博士后科学基金更多>>
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集成电路制造在线光学测量检测技术:现状、挑战与发展趋势被引量：12
《激光与光电子学进展》2022年第9期403-426,共24页陈修国 王才 杨天娟 刘佳敏 罗成峰 刘世元 
国家自然科学基金(52022034,52130504,51727809);湖北省重点研发计划(2020BAA008)。
在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造...
关键词：测量 集成电路制造 纳米测量 光学测量 光学检测 关键尺寸 套刻误差 缺陷 
基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第5期557-563,583,共8页陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元 
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证...
关键词：偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱 
基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第1期116-122,共7页董正琼 刘世元 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 
国家自然科学基金(51475191和51405172);国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160002);中国博士后科学基金(2014M560607和2015T80791);教育部长江学者创新团队(IRT13017)~~
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于...
关键词：光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度 
基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究
《金属加工（冷加工）》2015年第15期74-74,共1页陈修国 刘世元 
光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只...
关键词：椭偏仪 测量技术 传统光学 测量条件 测量速度 在线测量 几何参数 批量化 振幅比 参数提取 
基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究
《机械工程学报》2015年第10期7-7,共1页陈修国 刘世元 
纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术。为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程中对纳米结构的几何特...
关键词：椭偏仪 原子力显微镜 可操纵性 可重复性 测量技术 制造工艺 特征参数 扫描电子显微镜 制造过程 可扩展性 
基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量被引量：5
《物理学报》2014年第18期148-159,共12页陈修国 刘世元 张传维 吴懿平 马智超 孙堂友 徐智谋 
国家自然科学基金(批准号:91023032;51005091);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ160002);教育部长江学者和创新团队发展计划资助的课题~~
在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵...
关键词：纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度 
基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测被引量：1
《物理学报》2014年第3期482-486,共5页马智超 徐智谋 彭静 孙堂友 陈修国 赵文宁 刘思思 武兴会 邹超 刘世元 
国家自然科学基金(批准号:61076042;60607006);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2011YQ16000205);国家高技术研究发展计划(批准号:2011AA03A106)资助的课题~~
本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,...
关键词：纳米压印 光栅 无损检测 拟合 
POAD专家系统中的知识检索方法
《计算机应用研究》2009年第11期4218-4220,共3页涂平晖 尹文生 陈修国 徐帆 张恒喜 
为了充分发挥面向问题分析与决策(POAD)专家系统在大容量知识库构建和以人为主导推理方面的优势,需要增强系统的知识检索能力。根据POAD专家系统的知识表示和推理方法设计了简单检索及层次检索方法,简单检索方便,用户不需要特别训练;层...
关键词：专家系统 面向问题分析与决策 推理 知识检索 
基于POAD的公路工程质量分析与诊断专家系统被引量：2
《公路》2009年第7期247-252,共6页尹文生 涂平晖 张恒喜 陈修国 
公路工程质量问题是多方面、多层次、与时间有关、具有大量隐含因素的复杂质量问题,建立公路工程质量智能分析与诊断专家系统对于保证公路工程质量具有较大意义。使用面向问题分析与决策(POAD)专家系统模型,以国家标准JTG F80/1-2004为...
关键词：公路工程质量 专家系统 面向问题分析与决策 知识获取 以人为主导的推理 
基于关键词的文档层次查询被引量：1
《情报杂志》2009年第1期47-51,55,共6页尹文生 陈修国 涂平晖 张恒喜 
文档查询是科学工作中的重要环节。从实现机理来看,文档查询是一种基于关键词的数据库查询过程,其核心就是构建查询语句即设计查询界面及向数据库查询语句转化。提出了一种面向文档查询的查询树概念,将每个叶结点对应于一条SQL语句,而...
关键词：文档查询 关键词查询 查询树 查询子句 
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