基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究  

作　　者：陈修国[1] 刘世元[1] 

机构地区：[1]华中科技大学

出　　处：《金属加工（冷加工）》2015年第15期74-74,共1页MW Metal Cutting

摘　　要：光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只能获得振幅比和相位差2个测量参数。

关 键 词：椭偏仪 测量技术 传统光学 测量条件 测量速度 在线测量 几何参数 批量化 振幅比 参数提取 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程] TB302