在线薄膜测厚仪  

作　　者：姚景顺[1] 毕文平[1] 钟生新[1] 

机构地区：[1]海军大连舰艇学院

出　　处：《电子技术（上海）》1995年第1期18-20,共3页Electronic Technology

摘　　要：对于厚度为１０—１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。

关 键 词：测厚仪 单片机 传感器 Β射线 薄膜测厚仪 

分 类 号：TH821.1[机械工程—仪器科学与技术]