飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响  

Effect of femtosecond laser parameters on micromachining process

作　　者：于海娟[1] 李港[1] 陈檬[1] 张丙元[1] 

机构地区：[1]北京工业大学激光工程研究院,北京100022

出　　处：《激光技术》2005年第3期304-307,共4页Laser Technology

基　　金：北京市自然科学基金重点资助项目(3021001)

摘　　要：分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析。The research of material processing with femtosecond l aser has been performed in many countries.The development of many kinds of mater ial processing with femtosecond laser in the world is introduced and the optical parameters’effect on the micromahining process is analyzed.

关 键 词：飞秒激光 微加工 光参数影响 烧蚀阈值 

分 类 号：TG665[金属学及工艺—金属切削加工及机床]