MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应  

Squeeze Film Damping Effect on Dynamic Response ofMOEMS Optical Switch with Slant Lower Electrode

作　　者：孙东明[1] 董玮[1] 郭文滨[1] 刘彩霞[1] 王国东[1] 徐宝琨[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春130012

出　　处：《吉林大学学报（理学版）》2005年第3期343-347,共5页Journal of Jilin University:Science Edition

基　　金：科技部"863计划"项目基金(批准号: 2002AA312020);吉林省科技发展计划项目基金(批准号: 20010319 );教育部跨世纪优秀人才培养计划基金

摘　　要：从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.This paper presents theoretical analysis for the effect of air squeeze film damping on a micro-opto- electro -mechanical systems (MOEMS) optical switch with a slant lower electrode. Analytical formulae for the squeeze film damping coefficient and the squeeze film damping moment on the cantilever beam of the optical switch are derived. According to solving the dynamic equation, the effect of the air squeeze film damping on the switching time is given.

关 键 词：空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 响应时间 

分 类 号：TN256[电子电信—物理电子学] TN205