倾斜下电极

作品数：8被引量：11H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：陈维友董玮孙东明刘彩霞张歆东更多>>
相关机构：吉林大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所南京理工大学中国科学院更多>>
相关期刊：《吉林大学学报（理学版）》《光学精密工程》《高技术通讯》《半导体技术》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金教育部跨世纪优秀人才培养计划更多>>
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光电-静电复合驱动器的驱动性能被引量：1
《浙江大学学报（工学版）》2022年第1期178-185,共8页吕振 王新杰 刘亚风 赵勇筌 
国家自然科学基金资助项目(52075263,51675282)。
基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电...
关键词：PLZT陶瓷 光电-静电 闭环控制 倾斜下电极 驱动器 
MOEMS光开关动力学过程分析被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1448-1453,共6页孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312023);国家自然科学基金(批准号:69937019);吉林省科技发展计划(批准号:20010319)资助项目~~
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运...
关键词：MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极 
MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应被引量：1
《吉林大学学报（理学版）》2005年第3期343-347,共5页孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 
科技部"863计划"项目基金(批准号: 2002AA312020);吉林省科技发展计划项目基金(批准号: 20010319 );教育部跨世纪优秀人才培养计划基金
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
关键词：空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 响应时间 
倾斜下电极式MOEMS光开关阵列的光路分析及准直技术研究被引量：1
《光学精密工程》2004年第z2期48-51,共4页明安杰 梁静秋 兰卫华 王维彪 董玮 陈维友 
国家863计划项目资助
从高斯光束的传输理论出发,对8×8 MOEMS阵列光开关的光路进行了分析.这种光开关的反射镜尺寸与插入损耗(简称插损)密切相关.为了降低插损并且达到准直长度的要求,对相关参数进行了优化选择.此外,开关中光纤、球透镜以及微反射镜之间的...
关键词：MOEMS 光开关 插损 凸角补偿 球透镜 
MOEMS光开关响应时间的分析计算被引量：2
《电子学报》2003年第11期1671-1673,共3页孙东明 董玮 刘彩霞 郭文滨 张歆东 纪平 徐宝琨 陈维友 
跨世纪优秀人才培养计划基金 ;吉林省科技发展计划资助项目 (No .2 0 0 1 0 31 9) ;国家科技部"863计划"资助项目 (No .2 0 0 2AA31 2 0 2 0(2 3) )
本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时...
关键词：MOEMS 扭臂结构 倾斜下电极 静电驱动 开关时间 
具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第11期1196-1199,共4页董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 
国家 8 63计划 (No.2 0 0 2 AA3 12 0 2 3 );国家自然科学基金 (批准号 :6993 70 10 );吉林省科学计划(No.2 0 0 10 3 19)资助项目~~
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分析和实验结果表明 ,倾斜下电极的 pull-in电压几乎比平面下电...
关键词：微机械 光开关 扭臂 倾斜下电极 
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作被引量：1
《高技术通讯》2003年第7期46-49,共4页董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 
863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 );国家自然科学基金 ( 6993 70 10 );吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 ...
关键词：微机械 光开关 微反射镜 硅 静电驱动 扭臂结构 倾斜下电极 自对准V型糟 制作方法 全光网络 
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