MOEMS光开关响应时间的分析计算  

The Calculation of Switching Time for a MOEMS Optical Switch

作　　者：孙东明[1] 董玮[1] 刘彩霞[1] 郭文滨[1] 张歆东[1] 纪平[1] 徐宝琨[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,吉林长春130023

出　　处：《电子学报》2003年第11期1671-1673,共3页Acta Electronica Sinica

基　　金：跨世纪优秀人才培养计划基金 ;吉林省科技发展计划资助项目 (No .2 0 0 1 0 31 9) ;国家科技部"863计划"资助项目 (No .2 0 0 2AA31 2 0 2 0(2 3) )

摘　　要：本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时间可以达到 1至 2ms.The switching time calculation method of the electrostatic driven MOEMS optical switch with torsion beam structure was presented,and the formula of the switching time was given.We gave the switching time for different structures.Finally optimization structure parameters are given,the electrostatic driving voltage is about 10V and the switching time is 1～2ms.

关 键 词：MOEMS 扭臂结构 倾斜下电极 静电驱动 开关时间 

分 类 号：TN957[电子电信—信号与信息处理]