倾斜下电极式MOEMS光开关阵列的光路分析及准直技术研究  

Study of optical path and collimating technique of MOEMS optical switch array with slope electrode

作　　者：明安杰[1] 梁静秋[1] 兰卫华[1] 王维彪[1] 董玮[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033 吉林大学,吉林,长春,130021 吉林大学,吉林,长春,130021

出　　处：《光学精密工程》2004年第z2期48-51,共4页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家863计划项目资助

摘　　要：从高斯光束的传输理论出发,对8×8 MOEMS阵列光开关的光路进行了分析.这种光开关的反射镜尺寸与插入损耗(简称插损)密切相关.为了降低插损并且达到准直长度的要求,对相关参数进行了优化选择.此外,开关中光纤、球透镜以及微反射镜之间的位置及角度偏移均会使插损大大增加,采用自对准技术和凸角补偿方法可以有效提高各个器件之间的对准效果,降低插损[1].

关 键 词：MOEMS 光开关 插损 凸角补偿 球透镜 

分 类 号：TN929.1[电子电信—通信与信息系统]