TPU泡沫抛光垫及其生产US2004-054023（2004-03-18）  

出　　处：《环球聚氨酯》2005年第5期92-92,共1页Polyurethane Monthly

摘　　要：这种TPU泡沫适合用作半导体芯片镜面的抛光垫，它的使用寿命高于常规PU泡沫抛光垫。这种泡沫的密度为0．5—1．0(最好为0．65—0．85)g／cm，泡孔尺寸为5—200(最好为20—150)μm，ASIS—C硬度(U)不小于90(最好97以上)。所采用的TPU是用一种高聚物多元醇、一种有机二异氰酸酯和一种扩链剂经反应得到的，其中的异氰酸酯氮原子不低于6％，

关 键 词：PU泡沫 抛光垫 半导体芯片 二异氰酸酯 使用寿命 多元醇 高聚物 TPU 扩链剂 氮原子 反应 

分 类 号：TQ328.3[化学工程—合成树脂塑料工业] TS976.8[轻工技术与工程]