欧洲IC制造商订购多套ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统  

出　　处：《集成电路应用》2005年第1期25-25,共1页Application of IC

摘　　要：FsI国际有限公司近日宣布：一家领先的欧洲集成电路制造商在现场评估项目成功地验证了缺陷排除之后，已经购买多套ANTARESCX超凝态过冷动力学清洗系统。这些系统将用于先进器件平面结构或元件结构的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。这批系统的营业收人预计将记录在2005财年的前半年。

关 键 词：欧洲IC制造商 ANTARES 超凝态过冷动力学清洗系统 功能 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]