利用单片机实现微加速度计性能自动测试  

A Way of Automatic Measuring Micro-Accelerometer Using Monolithic Computer

作　　者：冯宇翔[1] 董景新[1] 赵长德[1] 吴天准[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系,北京100084

出　　处：《微纳电子技术》2005年第7期329-332,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家"十五"科技攻关项目(41308050103)

摘　　要：利用ATMEL公司的高速嵌入式单片机实现MEMS加速度计性能指标的自动测试,对系统中的模拟地与数字地分离、正负电压上电时间控制、温度信息采集、串口通讯协议等细节作了详细分析。结果表明,这是一个低价而可靠的微加速度计自动测试解决方案。An automatic measuring system based on the monolithic computer of ATMEL Corporation was introduced,according to the criterion of the measuring of micro-accelerometer.The A/D grounds separation,the time-lapse of P/N voltage,the temperature collection and the serial port protocol were analyzed.The results show that this is a low-cost and credible solution for micro-accelerometer auto-measurement.

关 键 词：微加速度计 温度采集 自动测试 

分 类 号：TH7[机械工程—仪器科学与技术]