微机械传感器在战术GN＆C中的应用  

作　　者：欧阳典豪 陈宏 

出　　处：《舰船导航》2005年第3期21-29,共9页

摘　　要：硅微机械惯性传感器对制导、导航和控制技术在成本、尺寸和可靠性方面提供了革命性的提高。批制造技术能生产上千个实体相同的微机电系统装置，每个只有几平方毫米大小。惯性MEMS技术发展受大规模商业市场的驱动，它的目的是以每轴低于10美元的价格获到最适宜性能应用，德雷珀实验室最近使用商业工艺验证了高性能多轴系统能适用于从制导武器到微卫星范围内小体积战术应用，采用深反应离子蚀刻技术和新的数字电子技术生产出的更精确传感器在-40℃-+85℃温度范围，其偏置稳定性快速地趋近1度／小时，正在研制的未来结构反映出与早期演示系统有明显不同．新传感器带有多个补偿输入轴，为多轴传感器阵列．新的晶片尺寸级工艺、传感器阵列组合及专用集成电路(ASICs)应用可以集成在一个芯片上。

关 键 词：军事装备 微机械传感器 MEMS惯性系统 系统集成 偏航速率陀螺仪 惯性测量装置 战术系统 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] E1[自动化与计算机技术—控制科学与工程]