全硅集成光学─理论与工艺（Ⅳ）（续三）  

作　　者：赵策洲[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子所

出　　处：《半导体光电》1994年第4期391-401,共11页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：全硅集成光学─理论与工艺（Ⅳ）（续三）赵策洲（博士生）（西安电子科技大学微电子所西安７１００７１）第四讲三维波导理论及硅三维波导１引言由于二维波导只在一个方向上对光场有限制作用，存在着横向散射，因而用它制作的波导器件，其作用受到限制。为此发展了三维介...

关 键 词：全硅集成光学 三维波导 波导 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学] TN814