SiC半导体电子学工艺进展  

作　　者：邓志杰 

出　　处：《有色与稀有金属国外动态》1995年第9期1-2,共2页

关 键 词：碳化硅 半导体电子学 晶体生长 器件 集成电路 

分 类 号：TN304.24[电子电信—物理电子学]